製品情報
ガス精製装置

半導体の製造工程において、各種の材料ガス・キャリアガスが使用されます。良質な半導体を形成するために、御使用になるガスの種類に応じた、最適な精製装置をご提案します。

常温吸着式精製装置 Model-VPE AN/AAR/AHE/AH/AAM

VPEシリーズ精製装置

精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った多彩な技術で開発した“VPEシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、環境・安全に配慮した製品造りを追求し、「安心」と「信頼」を提供します。

VPEシリーズ精製装置

特長

  • 当社が開発した独自の触媒により、 ガスの高鈍度精製が可能です。
  • 精製系列の切換は、原料ガスの流量および不鈍物濃度に適応した最適な系列切換時間を設定できます。また、精製ガスの流量積算値による系列切換もできますので、低流量で使用した場合は系列切換時間が延びるため省エネになります。
  • 省設置スペースを実現しました。(当社比18%減)
  • メンテナンススペースは装置正面と背面を基本とし、装置側面は密着設置ができます。(但し、耐震金具のスペースは必要です。)
  • 名規格に対応(SEMI、ASME、ML等)

装置性能

型式 VPE- AN AAR AHE AAM AH
適用ガス N2 Ar He NH3 H2
Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet Inlet Outlet
最大圧力(Mpa) 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.15 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.1 0.8 ≦⊿0.1
温度(℃) 5~35 22~35 5~35
各不純物
(vol,ppb)
O2 1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
2,000 ≦5 1,000 ≦1(標準)
≦0.1(Option)
CO 1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
- - 1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
CO2 500 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
500 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
500 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
- - 500 ≦5(標準)
≦1(Option)
H2 1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
1,000 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
- - - -
H2O 2,600 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
2,600 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
2,600 ≦5(標準)
≦0.1(Option)
2,600 ≦55(標準)
≦5(Option)
2,600 ≦5(標準)
≦1(Option)
Particle ≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1
≧0.1μm
(≦1pcs/cf)※1

※1 出口パーティクル値の保証をご希望の場合は、精製ガスパーティクルフィルタ(オプション)を選択ください。

装置仕様

Model VPE- 1.5 2 2.5 3 4 6 8 10 12 18
標準流量 [Nm3/h] 5 10 20 30 50 100 200 300 500 1,000
型式
(適用ガス)
AN (N2)
AAR (Ar) -
AHE (He) -
AH (H2) -
AAM (NH3) - - - -
寸法 [mm] 400 700 750 950 1,200 1,555
奥行 600 650 600 750 950 1,220
高さ 1,880 2,000 2,000 2,000 2,200 2,590
重量 [kg] 150 200 250 350 400 600 750 900 1,100 1,600

大流量タイプ(適用ガス:N2)

Model VPE- 16AN3 20AN3 24AN3 28AN3 32AN3 36AN3 40AN3 44AN3 48AN3
最大流量 [Nm3/h] 2,750 4,300 6,150 8,400 11,000 13,900 17,150 20,800 24,750
寸法 [mm] 2,400 2,900 3,500 4,300
奥行 1,800 2,000 2,500 3,100
高さ 2,800 2,800 3,200 3,500
重量 [kg] 3,500 4,500 6,000 7,000 9,000 10,000 11,000 15,000 16,000

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