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排ガス処理装置一覧

半導体製造に欠くことの出来ない排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

パイオクリン排ガス処理装置　MODEL-WGC

特長

  • シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。
  • ガス検知器などのオプションを取付けることにより、安全性を高めることが出来ます。
  • 2筒式の場合は、カートリッジ交換時の装置ダウンタイムが低減出来ます。

装置仕様

型式 カートリッジ本数 概寸法 W×D×H(mm)
WGC-08A-2 2本 600×400×1,600
WGC-3A-2 2本 700×500×1,600
WGC-4B-2 2本 800×550×1,600
WGC-7A-2 2本 800×500×1,600
WGC-10B-2 2本 1,250×600×2,000
WGC-12A-2 2本 1,200×500×2,000
WGC-20B-2 2本 1,400×600×2,000
WGC-21A-2 2本 1,200×500×2,000
WGC-31B-2 2本 1,500×700×2,000
WGC-50B-2 2本 1,900×800×2,000
WGC-62B-2 2本 1,850×850×2,000
WGC-100B-2 2本 2,100×1,000×2,000

※1筒式もラインナップしております。

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