特点

• 将NF3分解为低于容许浓度(10ppm)以下。
• 除害装置出口的气体中不含CO2、NOx和HF。
• 可以通过270℃以下的低温运行进行除害。
• NFS分解后的氟化合物将固定在CARTRIDGE(药剂筒) 内，因此不需要设置二级洗涤塔。
  （不需要排水处理装置）
• 因为是药剂筒式，能力被消耗后的药剂筒可以安全的实施更换。

装置规格

催化加热分解装置　MODEL-WGB

特点

• 最适合用于高・强诱导电体制造程式中的废气处理。
• 可以高效安全地去除挥发性有机物质（THF、醋酸丁酯等）和Pb、Zr、Ti等有机金属复合物。
• 可以在氧化催化剂的作用下，在温度范围250℃～、有机溶媒爆炸极限以下的大气混合比中完全氧化。
• 通过加热器加热方式，不需要丙烷等燃烧燃料，可以减少CO2的排放量。
• 由于过滤器的设置，产生的金属氧化物可以防止被排放到装置的外部。
• 通过压力和温度监控确保安全性。

装置规格

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