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吸着再生式排ガス処理装置  MODEL-WGE

パイオクリンカートリッジ MODEL-PCS/PCFのイメージ画像

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。

特長

  1. 吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。
  2. 水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。
  3. 水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。
  4. 気液接触部での詰まりが少ない構造です。
  5. 吸着筒の自動交互運転により連続除害が可能です。

装置仕様

分解筒型式 最大処理流量
[ℓ/min](nor)
概算装置寸法
W×D×H(mm)
WGE-60 60 1,350×1,100×1,800
WGE-120 120 1,600×1,400×1,950
WGE-220 220 1,750×1,400×2,000

概略図

概略図の画像

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本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

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カートリッジ式なので、能力を消耗した除外筒の交換が安全にできます。

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