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NF3用排ガス処理装置 MODEL-WGH

NF3用排ガス処理装置 MODEL-WGHのイメージ画像

特長

  1. NF3を許容濃度(10ppm)以下に分解します。
  2. 除害装置出口のガスには、CO2、NOx、HFが含まれません。
  3. 270℃からの低温運転による除害が可能です。
  4. NF3分解後のフッ素化合物はカートリッジ内に固定されますので、2次スクラバー設置の必要がありません。
    (排水処理設備が不要です。)
  5. カートリッジ式なので、能力を消耗した除害筒の交換が
    安全にできます。

装置仕様

寸法 W×D×H(mm) 1,200×800×2,000
装置重量(kg) 500
電源電圧(kVA) 17
置換用ガス 種類 窒素
供給圧 0.4〜0.7MPa
使用量 100(ℓ/min)nor
計装用ガス 種類 窒素又は、
乾燥空気
供給圧 0.4〜0.7MPa
使用量 若干
ユーティリティ表

触媒加熱分解装置 MODEL-WGB

特長

  1. 高・強誘導電体製造プロセスの排ガス処理に最適。
  2. 揮発性有機物質(THF、酢酸ブチルなど)とPb、Zr、Tiなどの有機金属錯体を高効率かつ安全に除害します。
  3. 酸化触媒の作用により温度領域250℃〜、有機溶媒の爆発下限以下での大気混合比で完全酸化が可能です。
  4. ヒータ加熱方式により、プロパンなどの燃焼燃料を必要とせず、CO2の排出量を低減します。
  5. フィルタの設置により、生成する金属酸化物の装置外への排出を防止します。
  6. 圧力、温度監視によって安全性を確保します。

装置仕様

寸法 W×D×H(mm) 1,400×1,100×2,000
装置重量(kg) 850
電源電圧(kVA) 18
燃焼用Air 種類 Air
供給圧 0.5〜0.7MPa
使用量 200〜300
(ℓ/min)nor
置換用ガス 種類 窒素
供給圧 0.4〜0.7MPa
使用量 40(ℓ/min)nor
計装用ガス 種類 窒素又は、
乾燥空気
供給圧 0.4〜0.7MPa
使用量 若干
ユーティリティ表

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