产品信息
气体纯化装置

半导体的制造工序中会用到各种原料气体和载气。为了形成优质的半导体，我们将根据客户所使用的气体类型，推荐出最佳的纯化装置。

吸气剂式气体纯化装置　MODEL-UHG/URT

特点

  • 通过我公司开发的独家吸气剂，可对气体进行高纯度的提纯。
  • 可以去除常温吸附式装置难以去除的氮（N2）。
  • 会显示反应筒（吸气剂）的累计纯化气体流量和累计纯化时间，因此可确认到反应筒的剩余纯化能力。
  • 吸气剂的寿命长。
    （URT型：20000hr　UHG型：9000hr）

装置性能

型式 UHG URT
适用气体 H2 Ar,He,Xe,etc.
Inlet Outlet Inlet Outlet
最大压力(MPa) 0.8 ⊿0.1以下 0.8 ⊿0.1以下
温度(℃) 5～35 5～35 5～35 5～35
  O2 5000 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围		 100 ≦1ppb標準
※0.1不属于标准范围
CO 1000 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围		 100 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
CO2 500 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围		 100 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
各种杂质
(vol.ppb)		 H2 - - 100 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
CH4 100 ≦5ppb标准
※1ppb不属于标准范围		 100 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
N2 5000 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围		 5,000 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
H2O 10000 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围		 2500 ≦1ppb标准
※0.1不属于标准范围
Particle   ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3		   ≧0.1µm
≦1pcs/0.0283m3

※关于可对应流量，请咨询我公司。
※URT,UHG的纯化能力显示出吸气剂的寿命。原料气体为上述条件时，在最大流量下URT可以使用20000小时，UHG可以使用9000小时。但吸气剂无法再生、需更换新的反应筒。
·氢气去除筒的再生可能，但只能在我公司内进行再生处理。（国外客户请另行咨询）

以下为相关产品

采用钯合金膜透过的纯化装置，除氢以外的物质均无法透过。

JAR型空气纯化装置是以步进装置、用于测定汽车尾气的零气体和燃料电池气体纯化为主要目的的纯化装置。