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废气处理装置一览

我公司在半导体制造中不可或缺的废气处理技术领域拥有众多的实际成果,并以丰富多彩的技术和最先进的装置满足客户更加多样化的需求。

PIOCLEAN®紧急保安装置 MODEL-WGR

当毒性气体不慎从毒性气瓶中喷出或从半导体制造设备等(管道、接头、阀等)泄漏时,此款保安装置可以将毒性气体连同周围的大气一同吸入,把有害成分去除至容许浓度以下。

特点

  • 紧急保安用PIOCLEAN ®即使在大风量下也具有极其优秀的处理能力
  • 将毒性高的气体等在短时间内去除至容许浓度以下。
  • 本设备的压力损失极小,可以降低鼓风机的动力。
  • 设备整体结构紧凑,占地面积小。
  • 配备标准逆变器,通过泄漏信号的输入,可以自动将运转模式从普通排气切换至紧急排气。
  • 紧急保安用PIOCLEAN®可轻松进行更换。
  • 本装置中敷设有取样检验筒,因此可以查看确认到紧急保安用PIOCLEANⓇ 剩余的能力。

示意图

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由极高处理能力为骄傲PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒)的组合,可以经济,而且安全地去除有毒气体。

通过分离燃烧喷嘴和二次燃烧室,可以在流量变动时稳定燃烧。