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废气处理装置一览

我公司在半导体制造中不可或缺的废气处理技术领域拥有众多的实际成果，并以丰富多彩的技术和最先进的装置满足客户更加多样化的需求。

PIOCLEAN除害筒　MODEL-PCS/PCF

“PIOCLEAN”可科学吸附各种有害成分，从废气中彻底去除多种有害物质。
此外，因为是干式除害剂，所以具备操作极为简单等多种优点和利处。

特長

  • 针对包括氢化物类在内的加水分解性氯类气体/氟类气体等，可科学吸附其中的有害物质，去除至容许浓度以下。
  • 除害筒体积小，重量轻，可以大幅度节省空间并加快安装速度。
  • 除害筒有不锈钢和FRP两种材质，可以根据用途选择。
  • 因为使用干式除害剂，所以压力损失小，且不需要设置专用的抽风机。
  • 从观察窗部可以确认到检知剂的颜色，以目视的方式可判断除害筒的更换时期。
  • 出入口配备标准件阀门，提高了装卸时的安全性。

检测剂变色示例

不锈钢除害筒

型式 尺寸
Ø×H(mm)		 喷嘴接头※3 最大流量
ℓ/min(nor)
PCS-08A-□※2 Ø60.5×540 NW20/25 8
PCS-3A-□ Ø114.3×708 NW20/25 30
PCS-7A-□ Ø165.2×778 NW20/25 60
PCS-12A-□ Ø216.3×894 NW32/40 110
PCS-21A-□ Ø267.4×894 NW32/40 160
PCS-31B-□ Ø318.5×1,128 NW32/40 230
PCS-62B-□ Ø406.4×1,313 NW50 400

※1 有耐腐蚀内表面涂层加工的产品。

FRP除害筒

型式 尺寸
Ø×H(mm)		 喷嘴接头※3 最大流量
ℓ/min(nor)
PCF-4B-□※2 Ø135×716 NW20/25 40
PCF-10B-□ Ø210×805 NW20/25 100
PCF-20B-□ Ø260×992 NW32/40 150
PCF-50B-□ Ø410×1,246 NW32/40 400
PCF-100B-□ Ø512×1,339 NW50 600
PCF-200B-□ Ø712×1,597 NW50 1200

※2 □内为PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒)
※3 喷嘴接头，会按除害筒阀门的接头尺寸来表示。

以下为相关产品

因是CARTRIDGE(药剂筒)式产品，能力已消耗的除害筒的更换可被安全实施。

由极高处理能力为骄傲PIOCLEAN CARTRIDGE(药剂筒)的组合，可以经济，而且安全地去除有毒气体。